壓電陶瓷致動器中--電壓放大器的應用

 壓電陶瓷致動器中--電壓放大器的應用：

 隨著精密工程和微細工程的迅速發展, 亞μm 和nm 級定位技術和微動伺服技術已成為微機電系統（MEMS）、超精密加工、微電子、光電子和生物工程等前沿學科的關鍵技術。

壓電陶瓷驅動系統作為理想的nm 微位移元件, 具有體積小、位移分辨率高、頻響高、承載力大、無噪聲、不發熱等特點, 得到了廣泛應用。但是由于壓電陶瓷的遲滯、蠕變等效應, 給壓電陶瓷的控制帶來了困難。而驅動放大器則是引起遲滯和蠕變現象主要的原因之一。因此，壓電陶瓷驅動放大器已成為目前壓電陶瓷致動器應用中的關鍵技術之一。

壓電陶瓷致動器

    壓電陶瓷致動器一般為堆疊結構。在外電場的作用下，每個壓電陶瓷片相當于1個平行板電容器。因此，驅動放大器的負載壓電陶瓷致動器為容性負載，其電容量通常達幾μF。當存在外加電場時，根據逆壓電效應, 壓電陶瓷片產生垂直方向和水平方向的變形, 輸出位移。在已知壓電陶瓷致動器模型的前提下, 通過一定的控制方法和控制算法, 能夠使壓電致動器的動態響應得到較大提高。

西安安泰電子科技有限公司生產的ATA-2000系列高壓放大器提供了DC-2MHz的帶寬，170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍，40mA~500mA的電流輸出能力，是精密位移系統中壓電陶瓷驅動研發測試的理想選擇。

ATA-2000系列電壓放大器，可以輸出理想的單端及差分信號，為MEMS領域的研究提供了快捷的工具。同時該系列功率放大器，設計了良好的過壓，過流，短路保護裝置，同時為了更好的為MEMS測試客戶應用，提供的完善的阻抗匹配網絡，方便用戶選擇對應匹配阻抗。

ATA-2000系列電壓放大器的增益數控可調，通過0.1的步進對于信號進行放大，方便用戶調試。同時具有100:1的信號監控口，方便用戶實時觀測輸出波形的變化。采用液晶顯示，操作簡單易懂.